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专利列表
- 有效
一种刻蚀深度的后处理方法
申请日: 20250123 公开日: 20250923 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 有效
一种激光直写光刻系统图案位置误差的标定及补偿方法
申请日: 20240815 公开日: 20250919 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 在审
一种光学元件激光加工与面形误差原位实时检测方法及装置
申请日: 20240528 公开日: 20240830 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 有效
等效元件、等效元件的制备方法、检测精度校验方法
申请日: 20211110 公开日: 20221028 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
