暂无，待补充字段
0专利总数
0许可专利
0转让专利
0第一发明人
0合作企业
专利列表
- 在审
基于磁传感的多功能MEMS器件、传感器及相关方法
申请日: 20251111 公开日: 20260210 申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 在审
微针阵列、微针阵列的制备方法及其应用
申请日: 20250930 公开日: 20260109 申请人: 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所
- 有效
一种调控被刻蚀材料侧壁刻蚀斜面角度的刻蚀工艺方法
申请日: 20220317 公开日: 20260109 申请人: 广东中科半导体微纳制造技术研究院
- 有效
一种用于探针卡的探针的加工方法
申请日: 20211231 公开日: 20240202 申请人: 广东中科半导体微纳制造技术研究院
- 有效
用于小型带引脚热敏电阻的测试夹具
申请日: 20211207 公开日: 20220429 申请人: 江西省纳米技术研究院
显示 1-5 条，共 7 条
