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专利列表
- 在审
电芯含水量测量设备及方法
申请日: 20251113 公开日: 20260203 申请人: 中国科学院电工研究所
- 在审
离子泵放电气室以及离子泵新结构
申请日: 20250924 公开日: 20260113 申请人: 中国科学院电工研究所
- 有效
一种二次电子产额测量的校准装置及方法
申请日: 20230412 公开日: 20251209 申请人: 中国科学院电工研究所
- 有效
一种电子束参数测量装置及电子束参数测量方法
申请日: 20220704 公开日: 20250516 申请人: 中国科学院电工研究所
- 有效
一种多束电子束束斑的测量装置及方法
申请日: 20220718 公开日: 20250318 申请人: 中国科学院电工研究所
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