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专利列表
- 在审
一种异质晶圆的键合方法及装置
申请日: 20250819 公开日: 20251212 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 在审
一种开启与保持特性可调的高鲁棒性ESD器件
申请日: 20240222 公开日: 20240611 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 在审
一种混合集成的绝缘体上硅器件及其制备方法
申请日: 20240123 公开日: 20240604 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 在审
一种混合集成的绝缘体上硅器件及其制备方法
申请日: 20240123 公开日: 20240510 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 在审
一种硅上绝缘体器件的陷阱富裕层制备方法
申请日: 20240123 公开日: 20240510 申请人: 中国科学院微电子研究所
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