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申请日: 20160620 公开日: 20201103 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20160510 公开日: 20201103 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20150527 公开日: 20180518 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20140408 公开日: 20170215 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20150601 公开日: 20150930 申请人: 中国科学院微电子研究所