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申请日: 20121226 公开日: 20160914 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20121228 公开日: 20160406 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20130531 公开日: 20160113 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20130108 公开日: 20151111 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20121228 公开日: 20151104 申请人: 中国科学院微电子研究所