申请日: 20230707 公开日: 20250107 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20230407 公开日: 20241015 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20230606 公开日: 20230822 申请人: 中国科学院微电子研究所
来源: Applied Thermal Engineering;Microelectronics Reliability合作: 王成晗、徐勤志
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