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专利列表
- 在审
压电MEMS微镜及制备方法、光路交换机
申请日: 20251119 公开日: 20260403 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 在审
压电驱动结构的制备方法及三维集成式主动散热结构
申请日: 20260225 公开日: 20260324 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 在审
波导器件和光开关
申请日: 20251126 公开日: 20260227 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 在审
提高微电铸层厚度均匀性的方法
申请日: 20230608 公开日: 20241210 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 在审
一种提高金属微电铸均匀性的方法
申请日: 20230529 公开日: 20241129 申请人: 中国科学院微电子研究所
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