申请日: 20220216 公开日: 20251128 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20201113 公开日: 20250307 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20230804 公开日: 20250214 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20221227 公开日: 20230414 申请人: 中国科学院微电子研究所
来源: 《先进功能材料》(Advanced Functional Materials)合作: 陈大鹏、李绍娟、熊继军、毛海央