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专利列表
- 有效
一种位线接触孔和DRAM的制造方法
申请日: 20210224 公开日: 20260317 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 有效
自动清洗装置、半导体工艺设备及清洗方法
申请日: 20200825 公开日: 20260317 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 有效
一种先通孔双镶嵌的制作方法
申请日: 20201211 公开日: 20260313 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 有效
一种浅沟槽隔离区域和DRAM及其制造方法
申请日: 20210413 公开日: 20260310 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 有效
一种电容器及其制造方法和DRAM
申请日: 20201028 公开日: 20260303 申请人: 中国科学院微电子研究所
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