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专利列表
- 在审
垂直腔面发射激光器及其制造方法
申请日: 20241119 公开日: 20260310 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 在审
隧穿结型VCSEL器件、制备方法及其设备
申请日: 20250926 公开日: 20260130 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 在审
一种SiC刻蚀方法和SiC器件
申请日: 20240315 公开日: 20250916 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 在审
一种碳化硅沟槽刻蚀方法
申请日: 20230413 公开日: 20241018 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 在审
一种新型肖特基二极管及其制作方法
申请日: 20230927 公开日: 20240726 申请人: 中国科学院微电子研究所
