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专利列表
- 有效
金属互连结构、半导体器件及提高扩散阻挡层性能的方法
申请日: 20201209 公开日: 20230818 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 有效
一种纳米线的制作方法
申请日: 20180611 公开日: 20211022 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 在审
碳化硅欧姆接触结构的形成方法及MOS晶体管的制备方法
申请日: 20210310 公开日: 20210727 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 失效
一种半导体器件的制造方法
申请日: 20210412 公开日: 20210716 申请人: 中国科学院微电子研究所
- 失效
一种半导体器件及其制造方法
申请日: 20210115 公开日: 20210601 申请人: 中国科学院微电子研究所
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