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申请日: 20210207 公开日: 20240809 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20210225 公开日: 20240705 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20191008 公开日: 20221202 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20170907 公开日: 20210831 申请人: 中国科学院微电子研究所
申请日: 20170907 公开日: 20210709 申请人: 中国科学院微电子研究所