申请日: 20160421 公开日: 20190924 申请人: 中国科学院半导体研究所
申请日: 20180426 公开日: 20180911 申请人: 中国科学院半导体研究所
申请日: 20161013 公开日: 20170308 申请人: 中国科学院半导体研究所
合作: 吕中石、沈梦竹、张媛雅、黄晓军、孔圆、汪迎春
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