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专利列表
- 有效
频率可调的MEMS滤波器
申请日: 20131105 公开日: 20180427 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 有效
频率可切换的微机械谐振器
申请日: 20130515 公开日: 20160601 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 有效
MEMS振荡器
申请日: 20130515 公开日: 20160511 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 有效
一种微机械谐振器及其制作方法
申请日: 20130614 公开日: 20160420 申请人: 中国科学院半导体研究所
- 有效
频率可调的MEMS谐振器
申请日: 20130722 公开日: 20160309 申请人: 中国科学院半导体研究所
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