申请日: 20250603 公开日: 20250826 申请人: 中国科学院半导体研究所
申请日: 20250108 公开日: 20250509 申请人: 中国科学院半导体研究所
申请日: 20240618 公开日: 20240920 申请人: 中国科学院半导体研究所
来源: Photonics Research合作: 马学龙、李明
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