申请日: 20201222 公开日: 20221209 申请人: 中国科学院半导体研究所
申请日: 20220429 公开日: 20220802 申请人: 中国科学院半导体研究所
申请日: 20201218 公开日: 20220624 申请人: 中国科学院半导体研究所
来源: Nature Synthesis合作: 王占国、刘峰奇、辛凯耀、周子琦、翟慎强、魏钟鸣、刘灿、刘开辉、张锦川、刘俊岐、邓惠雄