申请日: 20221125 公开日: 20250530 申请人: 中国科学院半导体研究所
申请日: 20200207 公开日: 20211130 申请人: 中国科学院半导体研究所
申请日: 20191114 公开日: 20210928 申请人: 中国科学院半导体研究所
来源: 自然-通讯合作: 王开友
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