申请日: 20240528 公开日: 20240806 申请人: 中国科学院半导体研究所
申请日: 20230220 公开日: 20230523 申请人: 中国科学院半导体研究所
来源: 先进材料合作: 谭平恒、林妙玲、谢佳良、喻学峰、王佳宏
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