暂无，待补充字段
0专利总数
0许可专利
0转让专利
0第一发明人
0合作企业
专利列表
- 在审
传感器显示点位的确定方法
申请日: 20250221 公开日: 20250603 申请人: 中国科学院光电技术研究所
- 有效
照明场非均匀性检测系统的标定和校正方法及装置
申请日: 20220729 公开日: 20241001 申请人: 中国科学院光电技术研究所
- 有效
照明场非均匀性探测系统及方法
申请日: 20220729 公开日: 20240927 申请人: 中国科学院光电技术研究所
- 在审
多点检平调平方法及装置
申请日: 20221116 公开日: 20240517 申请人: 中国科学院光电技术研究所
- 在审
有边缘破损缺口晶圆的预对准方法
申请日: 20231103 公开日: 20240105 申请人: 中国科学院光电技术研究所
显示 1-5 条，共 6 条
