申请日: 20240830 公开日: 20260310 申请人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
申请日: 20240507 公开日: 20251111 申请人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
来源: Device;Applied Materials Today合作: 曹逊、曹翠翠
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