申请日: 20091016 公开日: 20111005 申请人: 中科西卡思（苏州）科技发展有限公司
申请日: 20091018 公开日: 20110803 申请人: 中科西卡思（苏州）科技发展有限公司
申请日: 20091018 公开日: 20100407 申请人: 中国科学院上海硅酸盐研究所
来源: Journal of Semiconductors;半导体学报合作: 游经碧、蔡凯
来源: 《科学》(Science)合作: 游经碧、余诗琪、熊壮、张谦
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