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申请日: 20191127 公开日: 20220607 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日: 20210906 公开日: 20211207 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日: 20180622 公开日: 20210727 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日: 20200723 公开日: 20210525 申请人: 上海新硅聚合半导体有限公司
申请日: 20181022 公开日: 20210402 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所