申请日: 20220902 公开日: 20240920 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日: 20200814 公开日: 20240705 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日: 20211223 公开日: 20230428 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日: 20220308 公开日: 20230317 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
来源: ACS Photonics合作: 肖游、徐佳佳、陶虎、李浩、尤立星、王增琦
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