申请日: 20191224 公开日: 20210625 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日: 20190221 公开日: 20190614 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日: 20190221 公开日: 20190607 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日: 20190221 公开日: 20190531 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
来源: Nano Today合作: 魏文娅、狄增峰、袁清红
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