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专利列表
- 在审
量子点薄膜的异质集成方法及结构
申请日: 20251009 公开日: 20260113 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 在审
微腔增强单光子结构、制备方法及微腔增强光量子芯片
申请日: 20250818 公开日: 20251118 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 在审
一种微腔增强的光量子芯片及其制备方法
申请日: 20250723 公开日: 20250930 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种基于应力调控的片上双碳化硅色心HOM干涉装置
申请日: 20230710 公开日: 20250819 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 失效
一种混合集成单光子LED器件的制备方法
申请日: 20220804 公开日: 20250218 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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