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专利列表
- 失效
一种二维化合物半导体薄膜的制备方法
申请日: 20210913 公开日: 20220923 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
多层六方氮化硼薄膜的制备方法
申请日: 20180920 公开日: 20220923 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种石墨烯薄膜的制备方法
申请日: 20191028 公开日: 20220902 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 失效
一种少层石墨烯和氢气的联产方法及其装置
申请日: 20191224 公开日: 20200424 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种过渡金属硫族化合物二维材料—石墨烯异质结构及其原位生长方法
申请日: 20161114 公开日: 20190405 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
科研动态
中国科学院上海微系统与信息技术研究所实现微米级蒙烯铜粉制备及低温烧结
来源: 科学通报; Journal of Materials Science & Technology合作: 于庆凯、赵一沣
上海微系统所实现铜薄膜无额外加热石墨烯生长，提升互连导电性及可靠性
来源: Materials Today Physics合作: 陈嘉瑶、赵一沣、袁文韬、于庆凯
提出铁硼合金表面多层六方氮化硼空位辅助生长新机制
来源: 《物理化学快报》合作: 姜忍、赵威、吴天如、袁清红
中科院上海微系统所基于气-液-固法制备高质量多层六方氮化硼
来源: Nature Communications合作: 王秀君、吴天如、王浩敏、卢光远、刘志
