申请日: 20200318 公开日: 20220325 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日: 20190424 公开日: 20210402 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
申请日: 20200512 公开日: 20200925 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
来源: Photonics Research合作: 张伟君、尤立星、黄浩、欧欣
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