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专利列表
- 有效
一种MEMS热堆阵列芯片及多组分气体检测装置
申请日: 20250522 公开日: 20251121 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 在审
一种定向耦合装置
申请日: 20230423 公开日: 20230801 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种基于干法清洗工艺制备铜衬底的方法
申请日: 20151215 公开日: 20190430 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种石墨烯的表征方法
申请日: 20140430 公开日: 20190430 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种干法转移金属衬底上石墨烯的方法
申请日: 20151215 公开日: 20190301 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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