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专利列表
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ARPES真空系统、真空安全联锁系统和真空安全联锁方法
申请日: 20171225 公开日: 20200915 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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一种臭氧产生提纯系统
申请日: 20200120 公开日: 20200609 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 失效
一种光路切换系统
申请日: 20170425 公开日: 20190813 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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一种钙钛矿型SrIrO单晶薄膜材料的制备方法
申请日: 20150525 公开日: 20181127 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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一种钇掺杂氧化锆单晶衬底的处理方法
申请日: 20150520 公开日: 20171229 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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