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专利列表
- 有效
一种金属互连线制备方法
申请日: 20230303 公开日: 20250624 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种电极层的制备方法及半导体结构
申请日: 20210325 公开日: 20240618 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种晶体管结构及其制备方法
申请日: 20210325 公开日: 20240618 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种介电材料的制备方法及半导体结构
申请日: 20210325 公开日: 20240614 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种顶栅结构的制备方法及半导体结构
申请日: 20210325 公开日: 20240227 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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