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专利列表
- 失效
全张量磁场梯度测量组件及制备方法
申请日: 20170522 公开日: 20190924 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 失效
三维磁场测量组件及制备方法
申请日: 20170522 公开日: 20190719 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
氮化铌薄膜的制备方法、SQUID器件及其制备方法
申请日: 20151229 公开日: 20190405 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 失效
氮化铌SQUID器件、制备方法及参数后处理方法
申请日: 20170117 公开日: 20190312 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 失效
集成于约瑟夫森结的超导磁场线圈及其制备方法
申请日: 20170315 公开日: 20181026 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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