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专利列表
- 在审
一种基于同步辐射的极紫外干涉光刻方法
申请日: 20250905 公开日: 20251114 申请人: 中国科学院上海高等研究院
- 有效
一种同步辐射X射线干涉光刻自适应曝光装置及方法
申请日: 20220921 公开日: 20250328 申请人: 中国科学院上海高等研究院
- 有效
波长色散谱仪
申请日: 20240304 公开日: 20241101 申请人: 中国科学院上海高等研究院
- 在审
一种同步辐射X射线干涉光刻曝光系统及其掩模更换方法
申请日: 20240627 公开日: 20240823 申请人: 中国科学院上海高等研究院
- 有效
一种精确缩短节距值的自溯源光栅标准物质制备方法
申请日: 20200622 公开日: 20210903 申请人: 同济大学
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