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专利列表
- 有效
虹膜对准与采集装置
申请日: 20131022 公开日: 20170531 申请人: 山东艾瑞视智能科技有限公司
- 失效
双平板偏振移相剪切干涉仪
申请日: 20130809 公开日: 20151028 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 有效
光刻机照明系统的级联微透镜阵列的对准装置和对准方法
申请日: 20130607 公开日: 20150617 申请人: 北京国望光学科技有限公司
- 失效
空间移相横向剪切干涉仪
申请日: 20130508 公开日: 20150513 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 有效
光刻机设备用离轴照明装置
申请日: 20130322 公开日: 20141217 申请人: 北京国望光学科技有限公司
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