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专利列表
- 有效
基于掩模阴影效应的U型槽光栅离子束刻蚀方法
申请日: 20260112 公开日: 20260327 申请人: 安徽中科光栅科技有限公司
- 有效
基于动态直边光阑的无缝拼接光栅制作方法
申请日: 20260108 公开日: 20260317 申请人: 安徽中科光栅科技有限公司
- 在审
基于动态软边光阑的无缝拼接光栅制作方法
申请日: 20260107 公开日: 20260310 申请人: 安徽中科光栅科技有限公司
- 有效
基于偏振态实时变化的光栅显影监测方法及监测装置
申请日: 20251015 公开日: 20251230 申请人: 安徽中科光栅科技有限公司
- 有效
一种连续渐变槽深的波导光栅制作方法
申请日: 20250903 公开日: 20251121 申请人: 安徽中科光栅科技有限公司
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