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专利列表
- 在审
一种MEMS器件
申请日: 20251219 公开日: 20260224 申请人: 上海麦锴科技有限公司
- 有效
一种混合驱动的MEMS器件及其制备方法
申请日: 20250604 公开日: 20260123 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 在审
一种MEMS器件限位结构
申请日: 20251219 公开日: 20260116 申请人: 上海麦锴科技有限公司
- 在审
一种基于磁阻尼效应的MEMS振镜封装结构和激光转向装置
申请日: 20251030 公开日: 20251230 申请人: 上海麦锴科技有限公司
- 在审
气体定向调控装置
申请日: 20250916 公开日: 20251212 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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