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专利列表
- 在审
一种纳米图案的超分辨率成像或缺陷检测的装置及方法
申请日: 20251231 公开日: 20260327 申请人: 华中科技大学
- 在审
一种光热缺陷检测装置及方法
申请日: 20251231 公开日: 20260324 申请人: 华中科技大学
- 有效
一种投影式结构光掩膜图案可制造性增强方法及系统
申请日: 20250228 公开日: 20251223 申请人: 华中科技大学
- 有效
结构光场图案的获取方法及装置、分类方法及装置
申请日: 20221117 公开日: 20251205 申请人: 上海精测半导体技术有限公司
- 有效
一种全光调制的双波长单通光开关实现系统
申请日: 20240927 公开日: 20251017 申请人: 华中科技大学
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