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专利列表
- 在审
基于亚波长光栅槽型波导的微环谐振器及生化传感芯片
申请日: 20251210 公开日: 20260317 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
偏振分束器及电子设备
申请日: 20260108 公开日: 20260313 申请人: 上海羲禾科技股份有限公司
- 有效
偏振旋转分束器及电子设备
申请日: 20260105 公开日: 20260313 申请人: 上海羲禾科技股份有限公司
- 有效
光功率分束器、优化方法、设备、程序产品
申请日: 20260107 公开日: 20260313 申请人: 上海羲禾科技股份有限公司
- 有效
一种晶圆掺杂浓度调整方法和装置
申请日: 20220914 公开日: 20260224 申请人: 上海羲禾科技股份有限公司
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