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专利列表
- 在审
光敏型ArF树脂单体、树脂及其制备方法以及光刻胶组合物
申请日: 20251230 公开日: 20260403 申请人: 中国科学院光电技术研究所
- 在审
基于表面等离子体光刻的刻蚀增强方法
申请日: 20251230 公开日: 20260331 申请人: 中国科学院光电技术研究所
- 在审
基于嵌段共聚物的导向自组装方法及图案化结构
申请日: 20251230 公开日: 20260331 申请人: 中国科学院光电技术研究所
- 在审
胆酸衍生物树脂及制备方法、光刻胶及其应用、光刻方法
申请日: 20251112 公开日: 20260224 申请人: 中国科学院光电技术研究所
- 有效
高折射率杯芳烃衍生物光刻胶及其制备方法和应用
申请日: 20230308 公开日: 20260213 申请人: 中国科学院光电技术研究所
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