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专利列表
- 在审
基于深度学习的关键尺寸小角X射线散射数据处理方法
申请日: 20250821 公开日: 20251226 申请人: 中国科学院上海高等研究院
- 在审
原位气氛反应掠入射实验装置
申请日: 20241216 公开日: 20250318 申请人: 中国科学院上海高等研究院
- 在审
一种用于超小角X射线散射的实验装置
申请日: 20230928 公开日: 20231229 申请人: 中国科学院上海高等研究院
- 有效
一种利用真空冷热台进行掠入射X射线小角散射实验的方法
申请日: 20170523 公开日: 20231031 申请人: 中国科学院上海应用物理研究所
- 有效
基于小角X射线散射技术的关键尺寸测量系统及测量方法
申请日: 20210805 公开日: 20230728 申请人: 中国科学院上海高等研究院
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