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专利列表
- 有效
一种半导体结构及半导体工艺方法
申请日: 20230926 公开日: 20260320 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种石墨烯转移方法
申请日: 20230117 公开日: 20260317 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种NiGe/n-Ge肖特基二极管的制备方法
申请日: 20220228 公开日: 20260227 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种硅片中氧沉淀大小的测量方法
申请日: 20241107 公开日: 20250926 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 在审
一种硅薄膜转移的方法
申请日: 20250522 公开日: 20250926 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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