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专利列表
- 在审
一种硅化钼层干法刻蚀方法
申请日: 20250721 公开日: 20251017 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 在审
一种光刻掩模版两步显影方法
申请日: 20250721 公开日: 20250912 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 有效
一种光存储介质、光存储介质制备方法以及系统
申请日: 20201116 公开日: 20250218 申请人: 华为技术有限公司
- 在审
一种提高激光热模光刻工艺图形分辨率与均匀性的方法
申请日: 20230707 公开日: 20231031 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 失效
一种激光热敏光刻图像反转胶及其光刻方法
申请日: 20220525 公开日: 20230203 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
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