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专利列表
- 在审
粗糙度影响极紫外曲面多层膜反射镜平均反射率的评估方法
申请日: 20230808 公开日: 20250218 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 有效
磁控溅射元件镀膜膜厚分布修正的挡板设计方法
申请日: 20230712 公开日: 20240301 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 在审
一种大口径光学薄膜元件镀膜夹具
申请日: 20231113 公开日: 20240227 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 失效
一种调控光学元件测量样品腔室内相对湿度的装置和方法
申请日: 20230904 公开日: 20231226 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
- 有效
基于离子束的光学薄膜元件的面形控制方法
申请日: 20220311 公开日: 20231201 申请人: 中国科学院上海光学精密机械研究所
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