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专利列表
- 有效
一种基于正交回转轴系的凸面光栅机械刻划系统及方法
申请日: 20240412 公开日: 20260331 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 有效
一种光栅干涉测量装置
申请日: 20251125 公开日: 20260320 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 有效
一种高速转台转动角度的测量装置及其测量方法
申请日: 20250928 公开日: 20251230 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 有效
一种双视场离轴数字全息测量装置、系统及相位测量方法
申请日: 20241216 公开日: 20251205 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 有效
一种基于融合信号的光栅绝对定位装置以及方法
申请日: 20250725 公开日: 20250923 申请人: 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
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