申请日: 20251211 公开日: 20260313 申请人: 中国科学院半导体研究所
申请日: 20250214 公开日: 20250509 申请人: 中国科学院半导体研究所
申请日: 20161209 公开日: 20170315 申请人: 中国科学院半导体研究所
申请日: 20150525 公开日: 20151014 申请人: 中国科学院半导体研究所
来源: 《科学》(Science)合作: 游经碧、熊壮、张谦、张兴旺、李耀文