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专利列表
- 在审
一种玻璃微透镜阵列及其制备方法
申请日: 20250827 公开日: 20251121 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
一种半导体器件及其制备方法
申请日: 20241216 公开日: 20250912 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 在审
一种可调谐光学滤波器及其制备方法
申请日: 20250526 公开日: 20250822 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 在审
增强钻石激发效率的超表面结构、制作方法与量子传感器
申请日: 20231116 公开日: 20250516 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 有效
高速大动态范围磁场测量系统
申请日: 20220129 公开日: 20250509 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
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科研动态
中国科学院上海微系统与信息技术研究所实现亚10 pT级金刚石量子磁强计
来源: ACS Photonics合作: 彭霄、武震宇
中科院上海微系统所成功研制±800kV输电线路量子电流传感器
来源: Advanced Quantum Technology;ACS Photonics;Applied Physics Letters合作: 武震宇
上海微系统所成功研制微型高精度集成钻石量子电流传感器
来源: Advanced Quantum Technologies合作: 刘启慧、武震宇、程建功
上海微系统所制备出微型光电一体化集成钻石量子磁传感器
来源: Applied Physics Letters合作: 谢非、武震宇
