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专利列表
- 有效
一种叠层衍射位置校正计算成像方法、装置和系统
申请日: 20230418 公开日: 20260217 申请人: 华中科技大学
- 有效
一种基于轨道角动量的光刻缺陷检测方法和系统
申请日: 20241115 公开日: 20251212 申请人: 华中科技大学
- 有效
一种基于加权探针的叠层衍射位置校正方法
申请日: 20230511 公开日: 20251031 申请人: 华中科技大学
- 有效
一种用于光刻掩模优化的梯度计算方法和系统
申请日: 20250214 公开日: 20251021 申请人: 华中科技大学
- 有效
一种相干衍射成像自动聚焦方法和系统
申请日: 20241118 公开日: 20250930 申请人: 华中科技大学
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