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专利列表
- 有效
一种基于光电化学刻蚀制造微纳结构的系统及方法
申请日: 20230320 公开日: 20260403 申请人: 华中科技大学
- 在审
一种快照式自动光学显微缺陷检测系统和检测方法
申请日: 20251224 公开日: 20260331 申请人: 上海精测半导体技术有限公司
- 在审
一种纳米图案的超分辨率成像或缺陷检测的装置及方法
申请日: 20251231 公开日: 20260327 申请人: 华中科技大学
- 在审
一种光热缺陷检测装置及方法
申请日: 20251231 公开日: 20260324 申请人: 华中科技大学
- 在审
一种基于多层Rytov近似的光学衍射层析重建方法及系统
申请日: 20251030 公开日: 20260109 申请人: 华中科技大学
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