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专利列表
- 有效
一种同步辐射高次谐波驱动的等离子体极紫外光源
申请日: 20230606 公开日: 20260324 申请人: 中国科学院上海高等研究院
- 在审
一种基于表面增强拉曼散射的X射线闪烁体成像系统和成像方法
申请日: 20250904 公开日: 20251114 申请人: 中国科学院上海高等研究院
- 在审
一种基于同步辐射的极紫外干涉光刻方法
申请日: 20250905 公开日: 20251114 申请人: 中国科学院上海高等研究院
- 在审
光刻曝光控制方法及装置
申请日: 20250527 公开日: 20250812 申请人: 中国科学院上海高等研究院
- 有效
一种分子层沉积制备的可擦除有机无机杂化图案化薄膜
申请日: 20250515 公开日: 20250718 申请人: 华东理工大学
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