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专利列表
- 在审
IEPE振动传感器及其温漂自补偿方法
申请日: 20251110 公开日: 20260213 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 在审
一种正面带深槽的大背腔释放方法
申请日: 20240730 公开日: 20260130 申请人: 上海新微技术研发中心有限公司
- 有效
一种混合驱动的MEMS器件及其制备方法
申请日: 20250604 公开日: 20260123 申请人: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所
- 在审
一种长波通滤光片及其制造方法与集成器件
申请日: 20240702 公开日: 20260106 申请人: 上海新微技术研发中心有限公司
- 在审
一种芯片化红外光谱仪及其制备方法
申请日: 20240624 公开日: 20251230 申请人: 上海新微技术研发中心有限公司
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科研动态
中国科学院发布8英寸准标准化压电MEMS技术平台，完成超100款器件制备
来源: Advanced Sensor Research合作: 苏泳全
中国科学院上海微系统与信息技术研究所提出压电MEMS悬臂梁频率-角度解耦新方法，实现大变形与高频率兼顾
来源: Microsystems & Nanoengineering合作: 薛文立、王栎皓
中国科学院上海微系统与信息技术研究所实现亚10 pT级金刚石量子磁强计
来源: ACS Photonics合作: 彭霄、陈浩
中科院上海微系统所研制出集成角度传感器MEMS快反镜，用于卫星激光通信
来源: Microsystems & Nanoengineering合作: 薛文立、王栎皓
中科院上海微系统所成功研制±800kV输电线路量子电流传感器
来源: Advanced Quantum Technology;ACS Photonics;Applied Physics Letters合作: 陈浩
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